HOPG上的低电流测量

导电探针AFM (cAFM) 已成为半导体行业中非常重要的分析工具。掺杂，电导率，表面电势和电流只是cAFM的部分示例。不断改进和发展该技术以扩展其功能，提高其敏感性是必不可少的一个方面。