钌酸锶是铁电电容器的潜在电极材料。这种薄膜器件的电性能（例如泄漏电流）取决于电极/铁电接口的电子性能，其中钌酸锶在钛酸锶上提供了优异的特性。
同样薄膜厚度在电容器领域也非常重要，因为它决定了最终电容器的尺寸。随着电子设备变得越来越小，薄膜也需要变薄。为了满足市场需求，近几十年来，薄膜材料科学取得了巨大的进步。新的原位分析技术，如反射高能电子衍射，使得以受控方式生长高纯度单层薄膜成为可能。随着各种扫描探针方法的发明，这些层的分析也经历了一场革命，其中主要是原子力显微镜法和扫描隧道显微镜法。
使用在动态模式下操作的Mobile S高分辨率扫描仪对钌酸锶进行成像。AFM图像很好地显示了沉积薄膜的梯田结构。
