AFSEM™ — 业界领先的电镜中的原子力显微镜

AFSEM™ — Correlative AFM and SEM

相关AFM与SEM

实时 在您的SEM中进行AFM分析 analysis in your SEM
相关AFM与SEM分析
兼容于大多数电镜而不影响SEM正常操作
同步于AFM与SEM的多种其他分析技术工具
操作简便而直观

互为补充技术的联合是获得进入微纳米世界的一种新型见解的重要成功因素. AFSEM™由GETec与Nanosurf提供, 让您能轻松地联合两种功能强大的分析工具—原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)—进而大大地扩展了您的相关显微镜测量与分析的可行性.

实时在您的电镜中进行AFM分析

The complimentary capabilities of 原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)的互为补充可以对您的样品进行独特的表征成为可能. AFSEM™可以让您同时对您的样品进行高分辨成像,构造真实的三维表面形貌,精确地测量高度信息、距离信息甚至材料属性, 但同时保持了在SEM的大范围视场里定位AFSEM™悬臂梁到您想要测量的准确位置上. 优化的AFSEM™ 工作流(不影响SEM正常运行)确保了最高效的操作, 而强大的控制软件可以实现最优化与智能化的测量、系统操作与数据分析.

集成AFSEM™ 在Zeiss Leo 982 SEM中 (左图). SEM图像中实时操作AFSEM™ 探针, 扫描样品表面(右图). 当切换AFM与SEM成像时候, 完全不需要移动样品或者离开真空状态. 利用AFSEM™ 一切都可能在线实时处理!

SEM-AFM相关性分析

对于产品或材料分析, 我们总是期望利用多种技术来进行样品分析,而且寻求参数之间的相关性. 而像原子力显微镜(AFM)与扫描电镜(SEM)这类成像技术,我们就希望在同一个准确的位置进行分析!还有什么更简单的方式进行相关性的SEM-AFM分析比在电镜中直接进行AFM测量更好的办法呢?

Correlative 悬浮石墨烯与石墨烯相关材料的SEM与AFM相关性分析. 在低压SEM中,悬浮石墨烯片样品可以被观察并确认各层位置与厚度(A).感兴趣区域可以用来进行更高分辨率与高对比度的AFM成像(B+C).
AFSEM™ can also be used to study the flexibility of unsupported graphene layers.
FEI Quanta 600 FEG ESEM中的划过的金表面测量图: SEM 预览图(A), SEM 放大图(B)与相关AFM成像图(C)

兼容于大多数电镜而不影响SEM正常操作

AFSEM™ 适配于大多数SEM或双光束系统(SEM/FIB): 它直接地安装在系统腔室的门上, 而不改变样品台自身. 而且, 狭小的针尖扫描设计配合了自感应探针系统在电子柱的尖端与样品之间只需要4.5 mm空间即可. 所以, AFSEM™ 兼容于绝大部分标准的与可选的样品台, 而且几乎可以处理能放进系统腔室的任何一个样品. 这种精致的设计可以在电镜中实现亚纳米级别台阶高度的测量.

成功的AFSEM™ 集成实例(点击单个的SEM图片查看详细).
兼容于SEM仪器的完整列表 参考PDF文件.

同步于AFM与SEM的多种其他分析技术工具

因为AFSEM™ 设计保持了全部的SEM功能性, 它就可以联合其他一些标准的SEM分析技术如FIB, FEBID与EDX等.

Schematic representation and image of the non-obstructive integration of AFSEM™ in SEM/Dual Beam systems, which allows many analysis techniques (e.g. FIB, FEBID, and EDX) in addition to AFM and SEM

样品无需扫描, 而且相对重的或订制的样品台— 比如张力牵拉台或纳米压痕台 — 都可以轻松地联合在AFSEM中™.

AFSEM™ and Deben 200N tensile stage installed in a Philips XL40 SEM (A). The SEM is used to localize the neck formation, quantify the degree of necking, and position the cantilever at the center of the neck (B). Surface roughness is quantified by AFM, and surface topology characterized in further detail (C).
AFSEM™ and Hysitron PI85 SEM PicoIndenter® stage installed in a Zeiss Leo 982 SEM (A). The SEM is used to position the indenter tip and to measure the extent of topological changes after the indentation (B). The slip steps are quantified by AFM (C). For more information, please see our Nanoindentation analysis by AFSEM™ application note. Data courtesy: Josef Kreith & Megan Cordill, Erich Schmid institute of material science, Leoben.

从AFM方面来讲,多种测量模式可以用来对应的自感应探针来实现,如静态力与动态力成像、相位成像、力谱测量、力调制成像与导电力原子力显微镜(C-AFM), 或者更多的测量模式与探针会出现. 可以参考实例聚焦离子束诱导过程(FEBIP)后的 Pt(C)导电性分析.

Combined SEM imaging, chemical analysis by EDX, AFM topography, and conductivity analysis using AFSEM™ in a Philips XL40 instrument

这就成就了AFSEM的真正强大的功能™并使它成为电镜(SEM)中的原子力显微镜(AFM)的世界领先的解决方案!

操作简便而直观

AFSEM™ mounting inside an SEM (left); self-sensing cantilever on standard connector (middle); SEM image of self-sensing cantilever (right).

AFSEM™最大程度的提供了操作的灵活性与智能化定位.三轴粗定位台移动探针进入或者离开SEM的视场中的位置并定位探针到感兴趣的位置.SEM样品台横向移动样品为方便AFSEM™与SEM测量.垂直方向上, AFM与可以与样品一起移动,可以让您安全地安全地上下移动样品而不会撞坏AFM探针(参看AFSEM™介绍视频).

通过一个订制的适配板与电路密封件可以在SEM里实现AFSEM™的安装. AFSEM™可以通过仅仅四个螺丝就可以安装或拆下下来,整个过程可以不到五分钟,可以快速与方便的集成或从系统中移除(参看 AFSEM™集成视频).

所有的探针都预安装在一个标准的接口上,可以快速的实现探针更换,不到两分钟即可,因此大大节省了系统的down机时间.因为自感应探针技术与完全自动化探针定位调整,AFSEM™系统马上就可以开始进行操作.

AFSEM™部件与附件

AFSEM™测量头
AFSEM工具套装(包含探针)
定位AFSEM™测量头用XYZ样品台+SEM订制适配板与密封件法兰
控制器、高压放大器、计算机(在一个控制柜里) + 软件
AFSEM™探针

请向我们有应验的应用科学家来进行售前咨询吧

我们的专家会很高兴讨论您的应用需求并分析我们的AFSEM™集成到您的已有电镜中的可行性.我们会提供详细的解决方案包括硬件、软件、安装、培训与售后支持.这还包括现场支持与根据要求有的技术支持, 多种探针可供选择, 备件与标定服务等.

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