硅片上的动态力测量

(111)导向硅片上的台阶

使用 Nanosurf easyScan DFM 由 Martin Eckstein 测得的图像。.高级实验课程 20, Augsburg 大学,EKM,实验物理 6。

10x10µm image, z-range: 38.8nm

该图显示了(111)导向硅片上的台阶。 测量是在“动态力”操作模式下执行的。