电学测量模式
AFM可以探测材料和表面的多种电学性能。 这些方法根据要探究的信息以静态模式或动态模式运行。诸如电流，电导率，表面电势和电容之类的特性探测在包括半导体，太阳能电池，导电聚合物和纳米电子学在内的许多应用中日益重要。 这些应用的共同点是，需要测量日益小型化的设备和特征的电学性能。请注意，所有这些方法都需要专门的测量尖端，通常以传统的AFM硅悬臂涂有导电涂层的形式。用导电金刚石制成的探头也适用于其中一些方法。所有这些模式都同时提供了形貌和电学特性数据。这里给出一些主要的电学模式和特性的综述。
这些电学模式还经常利用交错扫描和双通道扫描方法，其中探头测量前进的或第一道的地形，然后将探针从后退的或第二道上的表面提升一个规定的距离，可选是否按照样品的地形（轮廓），如高级扫描方法部分所述。