磁力显微镜(MFM)

这里描述的磁力显微镜或 MFM 是扫描探针显微镜的主要方法,用于探测具有磁性的样品或磁性材料,并阐明样品中诸如磁畴和畴壁等的特征。该方法在磁存储介质领域中广泛用于质量控制。

在 MFM中,样品作用在尖锐的磁化尖端上的磁力得以测量。在测量过程中,尖端被提离表面,以分离尖端和样品之间的长程磁力和短程原子力。磁力显微镜在调幅模式下工作,这是一种动态力模式,在这种模式下,带有薄磁性涂层的悬臂以其共振频率(通常为几十或几百千赫兹)被驱动(这种模式也称为轻敲模式)。这些悬臂不昂贵且可以商购。当振荡悬臂在样品上方以指定高度越过时,MFM会绘制其相位和频率的映射图。排斥磁力梯度将导致共振曲线移至更高的频率,并伴有相移的增加(明亮的对比度)。相反,有吸引力的磁力梯度导致谐振曲线移至较低频率,并伴随相移减小(暗对比度)。 MFM在动态模式下运行的优点是噪声更低,分辨率更高。尖端-样品距离是优化有效MFM操作的关键参数。如果针尖离样品太远,则分辨率会受到影响。如果针尖离样品太近,则形貌将干扰MFM信号,从而使解释变得非常复杂。

MFM可以单道或双道技术操作。在单道设置中,MFM尖端以恒定的高度通过样品。单道模式的一个优点是尖端距离样品更近,因此在磁力测量中具有更高的灵敏度和分辨率,但是空间分辨率可能会受到影响。 MFM的这种操作速度最快,可最大程度地减少尖端磨损,并有一个更直观的理论解释。

在双道设置中,悬臂在图像的每一行上通过两次。在第一次行程中,MFM尖端在调幅模式如绘制地形图般与样品接触。然后,以用户规定高度将尖端提升到样品表面上进行第二次行程。在第二次行程中,尖端随地形轮廓运动,但现在是在样品上方的恒距离处。在每次成像,尖端-样品距离都被优化,通常是几纳米或几十纳米。优化需要在使尖端尽可能靠近样品,但又不至于太接近样品(以致碰撞样品)之间进行权衡。

磁力显微镜的示例

下面是抛光不锈钢的MFM图像。左侧是80微米x 80微米的形貌图,显示了非常光滑的表面,一些抛光痕迹斜穿过表面。中间图像是该区域对应的MFM相位图像,显示了地形图像中看不到的非常明显的特征和形态。MFM清晰地显示出迷宫状的磁畴和铁氧体相。最右边是13微米x 13微米放大的铁氧体相图像。

AFM topography image of stainless steel
抛光不锈钢样品的形貌图。 扫描尺寸: 80 µm. 高度范围: 50 nm.
Magnetic force microscopy (MFM) image of stainless steel
相同的 80 µm × 80 µm 区域的磁力显微 (MFM)。 相范围: 10°.
Magnetic force microscopy (MFM) image of stainless steel (zoomed in)
更小区域的磁力显微 (MFM)。 扫描尺寸: 13 µm. 高度范围: 50 nm.

下图是数据存储行业中样品的一个MFM测量示例,其中MFM对于研究材料和性能缺陷至关重要。这两个图像显示了硬盘驱动器盘片的形貌和相应的MFM相图像。形貌清楚地显示了录入轨迹。 MFM图像显示暗区和亮区,对应于磁化反转,其中白色代表排斥力,黑色代表吸引力。

AFM topography image of a harddisk platter
硬盘驱动器盘片的表面形貌测量 (动态力模式)。如MFM图所示,录入轨迹与凹槽平行。 扫描范围: 2 µm. 高度范围: 5 nm.
Magnetic force microscopy (MFM) image of a harddisk platter
硬盘驱动器盘片的磁力显微(MFM) 测量 of a hard disk drive platter (相同区域). 白色和黑色区域显示磁化反转,其中白色表示排斥力,黑色表示吸引力。扫描 范围: 2 µm. 相 范围: 5°.
Magnetic force microscopy (MFM) image of digital backup tape
带磁存储数据数字备份磁带的磁力显微图 (MFM)。扫描 尺寸: 50 µm.