钛酸锶(SrTiO3, STO)是钛和锶的氧化物，具有钙钛矿结构。它具有有趣且部分独特的材料特性。因而被用作氧化物基薄膜和高温超导体生长的基质。
STO形成分层结构的表面。各层的厚度在几埃的范围内。原子力显微镜是成像和测量这些结构的理想工具。
钛酸锶(STO)样品的形貌。样品清晰地显示了STO典型的层结构。这里，这些层并不是完全光滑的，显示出大约125pm的残余粗糙度（RMS）。这是由于在制备该STO样品期间的非理想终止过程造成的。
左图显示了沿着一条从上图区域的左上角到右下角延申的线所得的轮廓线。该轮廓还清晰地显示了样品的层状结构，并揭示了层高度约4 Å。同样，在右侧曲线图中，左图的高度分布直方图清晰地显示了大约4 Å即样品的不同层之间的峰的间距。
所有的测量均由配有BudgetSensors Tap150悬臂的Nanosurf Flex-Axiom 系统 执行。图像处理使用的是 MountainsMap SPM。
Nanosurf 应用笔记 AN01107